产品概括

实现（xiàn）洁净室（shì）内多层（céng）第6代超大型液晶玻（bō）璃基板箱体（tǐ）内（nèi）的高速搬运！

大型液（yè）晶玻（bō）璃基板搬运（yùn）机器人
负载（zǎi）：50KG
动态范围：1675mm
控制柜：DX100

用途：搬运（yùn）、洁净室

适用于第6代（1500*1850mm）超大型液（yè）晶玻璃基板的高速（sù）搬运。
*大化（huà）利（lì）用长距离（lí）上下屈伸、低pass line以（yǐ）及双手臂（bì）的特（tè）性（xìng），实现洁净室（shì）内多层液（yè）晶玻璃基板箱体内的（de）高速搬（bān）运。

*1：依据JIS B8432标准
*2：洁净度依据ISO-14644标（biāo）准。在0.4m/s以上的（de）向下流风速环境下，来确保工件搬运（yùn）面以上洁净度。
*3：根据用（yòng）途、作业形（xíng）式会（huì）有所不同。